摘要
在前幾期的電流量測筆記中, 我們介紹了電流量測基礎、動態電流的量測和長時間記錄和表徵。 這次網路研討會, 我們將關注微小電流, 次-飛安(sub-femtoamp)至pA級的靜態或動態電流的精確量測。 這在半導體、MEMS、光電器件、微電機或材料測試中, 經常會遇到。例如伏安(電壓電流)特性曲線掃描、材料絕緣電阻(率)、暗電流等參數的量測 在這種應用中, SMU源表分析儀無疑是業界最多的選擇。 但由於量測的信號常常過於微弱,還要面對多種干擾, 很多的工程師、碩士博士生、甚至教授,在使用源表進行精密量測時,發現量測資料波動非常大, 其準確性和重複性,往往會受到質疑。本場次的網路研討會將帶您更深入討論,如何在資料大幅波動下確保精準性。